Processing apparatus and clean system including processing apparatus

WO2009016919 Art A1 5. Februar 2009

Anmelder: IHI Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009016919
Aktenzeichen: EP08777842
Anmeldetag: 3. Juli 2008
Veröffentlichung: 5. Februar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: F24F7/06H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IHI Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

1.709 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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