Nozzle member and process for producing the same
WO2009017141
Art A1
5. Februar 2009
Anmelder: Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd., Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009017141
- Aktenzeichen
- EP08791858
- Anmeldetag
- 30. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- D01D4/02B28B1/26B28B3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd.
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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