Method for forming mems structures comprising narrow gaps
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009019316
- Aktenzeichen
- EP08802988
- Anmeldetag
- 8. August 2008
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D - Land
- 🇧🇪 Belgien
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.
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