Coating method

WO2009020052 Art A1 12. Februar 2009

Anmelder: Lintec Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009020052
Aktenzeichen: EP08792013
Anmeldetag: 31. Juli 2008
Veröffentlichung: 12. Februar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683G03F7/16H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lintec Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Lintec

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Klebstoffe, Klebebänder und Spezialfolien für Elektronik, Verpackung und industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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