Radial multipolar type layout lens, and charged particle optical system device using the lens
WO2009020208
Art A1
12. Februar 2009
Anmelder: Kyoto University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009020208
- Aktenzeichen
- EP08826989
- Anmeldetag
- 8. August 2008
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/12H01J37/153H01J37/28H01J37/305H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kyoto University
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyoto University
Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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Fachgebiete
Vertreten von
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