Aligning apparatus, bonding apparatus, laminated substrate manufacturing apparatus, exposure apparatus and aligning method

WO2009022469 Art A1 19. Februar 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009022469
Aktenzeichen: EP08790452
Anmeldetag: 12. August 2008
Veröffentlichung: 19. Februar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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