Methods and apparatus for ex situ seasoning of electronic device manufacturing process components

WO2009023124 Art A1 19. Februar 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009023124
Aktenzeichen
EP08795119
Anmeldetag
9. August 2008
Veröffentlichung
19. Februar 2009
Rechtsraum
WO
IPC
B65G43/00G01R31/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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