Masks for microlithography and methods of making and using such masks

WO2009023479 Art A1 19. Februar 2009

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009023479
Aktenzeichen
EP08797206
Anmeldetag
5. August 2008
Veröffentlichung
19. Februar 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/00G03F1/14G03F7/20G01N21/95G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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