Stoker with purge condition sensing

WO2009023787 Art A2 19. Februar 2009

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009023787
Aktenzeichen: EP08797910
Anmeldetag: 14. August 2008
Veröffentlichung: 19. Februar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/673H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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