Vorrichtung zur Messung eines Teilchenstroms

WO2009027252 Art A2 5. März 2009

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009027252
Aktenzeichen: EP08803064
Anmeldetag: 15. August 2008
Veröffentlichung: 5. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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