Apparatus for generating dielectric barrier discharge gas
WO2009028084
Art A1
5. März 2009
Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009028084
- Aktenzeichen
- EP07806463
- Anmeldetag
- 31. August 2007
- Veröffentlichung
- 5. März 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/31C23C16/503
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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