Bonding device and bonding method
WO2009028219
Art A1
5. März 2009
Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009028219
- Aktenzeichen
- EP08720867
- Anmeldetag
- 26. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 5. März 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/607H01L21/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shinkawa Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shinkawa
Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.
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