Chromatically corrected catadioptric objective and projection exposure apparatus including the same

WO2009030444 Art A2 12. März 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009030444
Aktenzeichen: EP08801777
Anmeldetag: 1. September 2008
Veröffentlichung: 12. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08G03F7/20G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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