Method for manufacturing gas supply structure in electrostatic chuck apparatus, gas supply structure in electrostatic chuck apparatus, and electrostatic chuck apparatus

WO2009031566 Art A1 12. März 2009

Anmelder: Creative Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009031566
Aktenzeichen: EP08829594
Anmeldetag: 3. September 2008
Veröffentlichung: 12. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Creative Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇸🇬 Creative Technology

Creative Technology ist ein Elektronikkonzern aus Singapur, bekannt für Audio- und Multimedia-Produkte wie Sound Blaster. Der Patentbestand liegt vor allem in Nachrichtentechnik, Software sowie Akustik- und Datenspeichertechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

314 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von