Method for cleaning vacuum chambers and vacuum chambers

WO2009033639 Art A2 19. März 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009033639
Aktenzeichen: EP08801956
Anmeldetag: 10. September 2008
Veröffentlichung: 19. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: A61L2/10G03F7/20A61L2/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik

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