Semiconductor manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and display apparatus

WO2009034963 Art A1 19. März 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited, National University Corporation Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009034963
Aktenzeichen: EP08830265
Anmeldetag: 9. September 2008
Veröffentlichung: 19. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/205H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
National University Corporation Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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