Computer-implemented methods, carrier media, and systems for displaying an image of at least a portion of a wafer

WO2009036072 Art A1 19. März 2009

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009036072
Aktenzeichen
EP08799411
Anmeldetag
10. September 2008
Veröffentlichung
19. März 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G06F3/14H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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