Bundle-guiding optical collector for collecting the emission of a radiation source

WO2009036957 Art A1 26. März 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009036957
Aktenzeichen: EP08802283
Anmeldetag: 17. September 2008
Veröffentlichung: 26. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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