Method for inspecting line width measuring apparatus

WO2009037875 Art A1 26. März 2009

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009037875
Aktenzeichen: EP08721581
Anmeldetag: 7. März 2008
Veröffentlichung: 26. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01B11/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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