Measuring device and measuring method employed therein

WO2009037949 Art A1 26. März 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009037949
Aktenzeichen: EP08832236
Anmeldetag: 28. August 2008
Veröffentlichung: 26. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G01C3/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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