Tellurium precursors for gst film deposition

WO2009039187 Art A1 26. März 2009

Anmelder: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009039187
Aktenzeichen: EP08831532
Anmeldetag: 17. September 2008
Veröffentlichung: 26. März 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C23C16/455C23C16/30H01L45/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von