Substrate transfer apparatus and observation apparatus

WO2009041421 Art A1 2. April 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009041421
Aktenzeichen: EP08833525
Anmeldetag: 24. September 2008
Veröffentlichung: 2. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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