A method of generating a pattern on a substrate

WO2009041916 Art A1 2. April 2009

Anmelder: Agency for Science, Technology And Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009041916
Aktenzeichen: EP07835484
Anmeldetag: 28. September 2007
Veröffentlichung: 2. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C03C4/00C22C45/00G11B7/241G11B7/26H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology And Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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