Method of preparing cross-linked organic glasses for air-gap sacrificial layers

WO2009042636 Art A2 2. April 2009

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009042636
Aktenzeichen: EP08834115
Anmeldetag: 24. September 2008
Veröffentlichung: 2. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44B05D7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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