Fluidic channel system and method for fabricating fine structure

WO2009045050 Art A2 9. April 2009

Anmelder: Seoul National University Industry Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009045050
Aktenzeichen: EP08835409
Anmeldetag: 1. Oktober 2008
Veröffentlichung: 9. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Seoul National University Industry Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Seoul National University Industry Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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