Etchant compositions and etching method for metals cu/mo

WO2009047203 Art A1 16. April 2009

Anmelder: BASF SE, Basf Se 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009047203
Aktenzeichen: EP08837632
Anmeldetag: 2. Oktober 2008
Veröffentlichung: 16. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C09K13/08C23F1/18C23F1/26H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: BASF SE
Basf Se
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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