Probe card, inspecting apparatus and inspecting method

WO2009047836 Art A1 16. April 2009

Anmelder: Fujitsu Microelectronics Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009047836
Aktenzeichen: EP07829431
Anmeldetag: 9. Oktober 2007
Veröffentlichung: 16. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R1/067G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujitsu Microelectronics Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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