Showerhead electrode assemblies and plasma processing chambers incorporating the same

WO2009048703 Art A1 16. April 2009

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009048703
Aktenzeichen: EP08799345
Anmeldetag: 9. September 2008
Veröffentlichung: 16. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/00C23C16/455H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von