Dummy grating of clean room

WO2009050808 Art A1 23. April 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009050808
Aktenzeichen: EP07830073
Anmeldetag: 18. Oktober 2007
Veröffentlichung: 23. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: F24F7/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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