Focusing measurement device, focusing measurement method, and program
WO2009050841
Art A1
23. April 2009
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009050841
- Aktenzeichen
- EP08790502
- Anmeldetag
- 25. August 2008
- Veröffentlichung
- 23. April 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B7/36G02B7/28G03B13/36H04N5/232H04N101/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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