Light transmission optical system, illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method

WO2009050966 Art A1 23. April 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009050966
Aktenzeichen: EP08840606
Anmeldetag: 12. September 2008
Veröffentlichung: 23. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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