Defect classification method and defect classification apparatus

WO2009054102 Art A1 30. April 2009

Anmelder: Hitachi Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009054102
Aktenzeichen: EP08842318
Anmeldetag: 10. Oktober 2008
Veröffentlichung: 30. April 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01N23/225H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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