Work polishing head, and polishing apparatus having the polishing head

WO2009057258 Art A1 7. Mai 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Fujikoshi Machinery Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009057258
Aktenzeichen: EP08844888
Anmeldetag: 20. Oktober 2008
Veröffentlichung: 7. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B41/06H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Fujikoshi Machinery Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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