Susceptor for vapor deposition

WO2009060770 Art A1 14. Mai 2009

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009060770
Aktenzeichen: EP08848511
Anmeldetag: 29. Oktober 2008
Veröffentlichung: 14. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/458C30B25/12H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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