Process and apparatus for producing ultrapure water, and method and apparatus for cleaning electronic component members

WO2009060827 Art A1 14. Mai 2009

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009060827
Aktenzeichen: EP08846596
Anmeldetag: 4. November 2008
Veröffentlichung: 14. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C02F1/42B01J47/00B01J47/04H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kurita Water Industries Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

1.069 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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