An interconnect structure and a method of fabricating the same
WO2009061282
Art A1
14. Mai 2009
Anmelder: Agency for Science, Technology And Research, Nanyang Technological University 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009061282
- Aktenzeichen
- EP08846764
- Anmeldetag
- 21. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/60H01L21/44H01L23/48B81C3/00H01L21/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Agency for Science, Technology And Research
Nanyang Technological University - Land
- 🇸🇬 Singapur
🇸🇬
Agency for Science, Technology and Research
Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.
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🇸🇬
Nanyang Technological University
Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.
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