Reflective optical elements exhibiting multimetallic-like self-correction of distortions caused by heating

WO2009061578 Art A1 14. Mai 2009

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009061578
Aktenzeichen
EP08848081
Anmeldetag
7. Oktober 2008
Veröffentlichung
14. Mai 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/29
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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