Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope

WO2009062929 Art A2 22. Mai 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009062929
Aktenzeichen: EP08849328
Anmeldetag: 11. November 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/18H01J37/22H01J37/26G02B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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