Dry Pump

WO2009063820 Art A1 22. Mai 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009063820
Aktenzeichen
EP08849170
Anmeldetag
10. November 2008
Veröffentlichung
22. Mai 2009
Rechtsraum
WO
IPC
F04C29/04F04C18/18F04C25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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