Wafer processing apparatus

WO2009063825 Art A1 22. Mai 2009

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009063825
Aktenzeichen: EP08850964
Anmeldetag: 10. November 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/301H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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