Movable element and processing stage

WO2009063877 Art A1 22. Mai 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009063877
Aktenzeichen: EP08848774
Anmeldetag: 11. November 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B65G49/06B23Q1/01B23Q1/58H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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