Mask case, transfer apparatus, exposure apparatus, mask transfer method and device manufacturing method

WO2009063903 Art A1 22. Mai 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009063903
Aktenzeichen: EP08849705
Anmeldetag: 12. November 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B65D85/86G03F1/14H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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