Chalcogenide film and method for producing the same

WO2009063950 Art A1 22. Mai 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009063950
Aktenzeichen: EP08849061
Anmeldetag: 13. November 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/105C23C14/06H01L45/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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