System and method for blending, monitoring and dispensing chemical mixtures
WO2009064878
Art A1
22. Mai 2009
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009064878
- Aktenzeichen
- EP08849332
- Anmeldetag
- 13. November 2008
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B01F15/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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