Apparatus and methods for reducing restrictions to air flow in an abatement system

WO2009065094 Art A1 22. Mai 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009065094
Aktenzeichen: EP08850153
Anmeldetag: 15. November 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: F02B33/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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