Conveyance robot, locally cleaned housing with the conveyance robot, and semiconductor manufacturing device with the housing
WO2009066573
Art A1
28. Mai 2009
Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009066573
- Aktenzeichen
- EP08852658
- Anmeldetag
- 10. November 2008
- Veröffentlichung
- 28. Mai 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Yaskawa Electric
Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.
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