Composition for surface antireflection films and pattern-making method

WO2009066768 Art A1 28. Mai 2009

Anmelder: AZ Electronic Materials (Japan) K.K., DIC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009066768
Aktenzeichen: EP08851610
Anmeldetag: 21. November 2008
Veröffentlichung: 28. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08K5/17C08K5/34C08L71/00C08L101/14H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AZ Electronic Materials (Japan) K.K.
DIC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 DIC Corporation

DIC Corporation ist ein japanischer Chemiekonzern (früher Dainippon Ink and Chemicals) mit Schwerpunkt auf Druckfarben, Pigmenten und organischen Feinchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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