Method of curing defects in spin-on-glass

WO2009066983 Art A2 28. Mai 2009

Anmelder: Mimos Berhad 🇲🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009066983
Aktenzeichen: EP08852379
Anmeldetag: 21. November 2008
Veröffentlichung: 28. Mai 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/208H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: Mimos Berhad
Land: 🇲🇾 Malaysia

🇲🇾 Mimos Berhad

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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