Improved reclaim function for semiconductor processing systems

WO2009069090 Art A2 4. Juni 2009

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009069090
Aktenzeichen: EP08854894
Anmeldetag: 26. November 2008
Veröffentlichung: 4. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G05D11/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von