Holding member for inspection and method for manufacturing holding member for inspection

WO2009069438 Art A1 4. Juni 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009069438
Aktenzeichen: EP08853991
Anmeldetag: 5. November 2008
Veröffentlichung: 4. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/26G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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